激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌， 测量精度 Pv 高达 0.06μm 甚至更高，广泛用于平面光学元 件高精度检测。
广泛用于平面光学元件高精度检测。
--准确测量大口径的光学元件的透射波前、反射波前。--测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。--根据客户要求定制开发。
主要技术指标
